基于FBG传感技术的微机电甲烷传感器【摘要】：提出了一种基于布拉格光栅应变传感技术的微机电甲烷传感器结构。该结构由光波导和布拉格光栅应力传感器,及双端固定微型双金属梁、甲烷无焰燃烧