半导体行业需要真空泵做什么，真空泵在半导体中的应用有哪些?

来源：新能源网

时间：2024-08-17 14:21:01

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半导体行业需要真空泵做什么，真空泵在半导体中的应用有哪些?【专家解说】：应用很多，没有真空泵，那个厂就没阀生产，简单可以分为: PECVD ，气相物理(化学)沉积，工艺真空:用于一

【专家解说】：应用很多，没有真空泵，那个厂就没阀生产，简单可以分为: PECVD ，气相物理(化学)沉积，工艺真空:用于一些真空吸笔，测试设备，机械手等，清扫真空:自动化的清洁设备等等

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