等离子体刻蚀和LPCVD 真空泵常用那种类型？

【专家解说】：传统采用的一般是水环式真空泵和旋片式真空泵，水环真空泵对气体介质要求低，但是体积较大，效率低且维护量大。渐渐的在光伏光电子行业已经淡出。旋片真空泵体积小，造价很低，但是运行不稳定，会带来油污污染，且存在明显机械摩擦，叶片损坏较快，气量衰减快。近年有很多实力强的企业已经开始采用一些品质好的螺杆真空泵代替传统真空泵，螺杆真空泵运行较稳定，系统内有油污处理设备，维护周期长。缺点是国内的螺杆真空泵厂家质量还不过硬，国外产品价格较高，一次投资大。所以新建企业由于投资问题都选用便宜的旋片真空泵，在投产形成利润后很多渐渐选用螺杆真空泵进行技改。