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为什么经阳极氧化的铝及铝合金的氧化膜具有较强的抗腐蚀能力

来源:新能源网
时间:2024-08-17 15:29:30
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为什么经阳极氧化的铝及铝合金的氧化膜具有较强的抗腐蚀能力热心网友:在半导体器件的制造上,氧化膜具有极为重要的作用。其被利用为MOS晶体管的棚级氧化膜、PN接合部的保护膜、杂质扩散的

热心网友:在半导体器件的制造上,氧化膜具有极为重要的作用。其被利用为MOS晶体管的棚级氧化膜、PN接合部的保护膜、杂质扩散的光罩。在半导体器件的制造上,氧化膜具有极为重要的作用。其被利用为MOS晶体管的棚级氧化膜、PN接合部的保护膜、杂质扩散的光罩。制造氧化膜的代表例有:热氧化法及气相成长法(CVD法)。