怎样测量薄膜厚度?
来源:新能源网
时间:2024-08-17 14:28:25
热度:
怎样测量薄膜厚度?问题描述:怎样测量薄膜厚度?领域专家:X射线反射法(XRR)是测量薄膜厚度,分析多层膜结构的常用方法。XRR适用于测量1-200nm厚度的薄膜,精度可以达到1-3
问题描述:怎样测量薄膜厚度?
领域专家:X射线反射法(XRR)是测量薄膜厚度,分析多层膜结构的常用方法。
XRR适用于测量1-200nm厚度的薄膜,精度可以达到1-3埃。除了可以测量薄膜的厚度外,X射线反射法还可以确定薄膜的界面粗糙度。
X射线反射法测薄膜厚度使用2θ/ω扫描(如图),入射角ω很小,散射角2θ设置为大约1°,扫描的时候,ω=θ从0°开始扫描到10°左右,通过CCD我们能够得到光子数(count)和角度(θ)的关系。
当入射角ω很小的时候,相当于是镜面掠射,反射率差不多是1,随着角度的增大,反射率迅速降低,由于薄膜的存在,X射线在薄膜的上下界面分别发生反射,然后叠加,干涉效应会让我们观察到光子数和入射角之间有周期性的涨落(条纹),观察到的条纹数越多,我们能够计算出的薄膜的厚度也越精确。
计算表明,发生全反射的临界角θc与薄膜密度的开根成正比,
条纹的周期Δθm和薄膜的厚度d有关,
当M=1,θ>>θc时,
另外条纹的明锐程度会随着界面粗糙度σ的增大而降低。
同时,反射界面粗糙度的增大,会使反射率曲线随入射角的增大更快地衰减掉。
现在我们大多使用拟合软件(比如GenX)来对待测薄膜建模,通过拟合来获得待测薄膜的结构参数。
上图蓝色点是实验结果,红色线是对薄膜厚度的拟合结果。
最后赠送一个我正在测的Ta薄膜小角X射线反射数据,它的厚度大概是35nm。
领域专家:光学显微镜二次聚焦法可以测定
上一篇:羊胎盘上的薄膜能吃吗?
-
安装薄膜发电雷雨天有危险吗2024-08-17
-
太阳能电池开路电压测量怎么测量?2024-08-17
-
CdTe 薄膜太阳能电池原材料成本和加工成本比例大概是多少?最好能提供依据~~~2024-08-17
-
热值仪的测量原理是什么?以及相关的华白值、比重的定义??2024-08-17
-
近日,澳大利亚学家从蓝藻中提取到了一种被称作叶绿素f的新叶绿素,它能够吸收红光和红外光进行光合作用。下列有关叙述正确的是A.叶2024-08-17
-
影像测量仪主要应用于什么行业2024-08-17
-
彩虹电子光伏玻璃和汉能薄膜是同样产品吗2024-08-17
-
保定天威薄膜光伏有限公司怎么样2024-08-17
-
非晶硅玻璃表面镀的什么东西,棕色的薄膜2024-08-17
-
碳纳米管薄膜是什么2024-08-17
-
在风力发电机叶片设计过程中,叶片展向各个截面的翼型的相对厚度都是变化的,请问相对厚度是如何确定的2024-08-17
-
造薄膜太阳电池模组对人体有危害吗2024-08-17
-
一块1平方米的晶体薄膜,一年的发电量是800千瓦时。1平方千米的晶体薄膜一年的发2024-08-17
-
薄膜电池板价格是多少,有谁知道?2024-08-17
-
非晶硅薄膜光电模块的海关代码2024-08-17