急:非晶硅薄膜太阳能电池生产要用到哪些特气?
来源：新能源网
时间：2024-08-17 14:20:59
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急:非晶硅薄膜太阳能电池生产要用到哪些特气?【专家解说】：P层:硅烷、硼烷、甲烷、氢气。
I层:硅烷、氢气。
N层:硅烷、磷烷、氢气。
清洗吹扫腔体用氩气、三氟化氮、氢气等。
破空
【专家解说】：P层:硅烷、硼烷、甲烷、氢气。
I层:硅烷、氢气。
N层:硅烷、磷烷、氢气。
清洗吹扫腔体用氩气、三氟化氮、氢气等。
破空吹扫:氮气。
真空工艺气体:氢气。
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