关于光伏太阳能电池部PECVD工序，如何才能有效控制本道返工片，注意哪些细节方面
来源：新能源网
时间：2024-08-17 13:46:30
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关于光伏太阳能电池部PECVD工序，如何才能有效控制本道返工片，注意哪些细节方面【专家解说】：注意片子的亮暗，和一洗有关。注意恒温时间。注意淀积时间和压力。注意设定温度。注意补偿温
【专家解说】：
注意片子的亮暗，和一洗有关。
注意恒温时间。
注意淀积时间和压力。
注意设定温度。
注意补偿温度也就是 PB值
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