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mocvd有热废气吗

来源:新能源网
时间:2024-08-17 12:44:35
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mocvd有热废气吗【专家解说】:有废气,但不是很热。只不过废气成分比较复杂,需要独特的处理系统。
Ga、As基的MOCVD尾气里的东西有剧毒,需要小心处理。
GaN基的MOC

【专家解说】:有废气,但不是很热。只不过废气成分比较复杂,需要独特的处理系统。 Ga、As基的MOCVD尾气里的东西有剧毒,需要小心处理。 GaN基的MOCVD(目前常用的)里面主要是氨气,用个能添酸中和的喷淋处理系统就行了。