太阳能多晶硅电池pecvd工艺步骤
来源：新能源网
时间：2024-08-17 08:12:06
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太阳能多晶硅电池pecvd工艺步骤【专家解说】：光电中心采用快速热化学气相沉积(RTCVD)、等离子增强化学气相沉积(PECVD)和a-Si/ c-Si迭层电池等不同工艺对多晶硅薄
【专家解说】：光电中心采用快速热化学气相沉积(RTCVD)、等离子增强化学气相沉积(PECVD)和a-Si/ c-Si迭层电池等不同工艺对多晶硅薄膜太阳电池进行了研究。RTCVD多晶硅
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