太阳能薄膜电池的靶材原料技术问题

【专家解说】：1.现在又两种方法来生产靶材，一是喷涂法，二是烧结法 ZnO和Al为原料是制备太阳能电池前电极所需的TCO玻璃所用的靶材，常规掺铝量有1%，1.5% 和2% 2.现在国内的靶材，最主要的缺陷大概就是绑定靶材的烧结质量问题，在进行高温溅射时会发生靶材的裂开，及外层靶材与靶管脱落。使得绑定材料氧化铟污染真空腔体。 3，这就不晓得了！