请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么？
来源：新能源网
时间：2024-08-17 14:20:43
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请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么？【专家解说】：PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体辅助化学
【专家解说】：PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积
我们公司就是做这个的.
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