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高真空泵有哪些?低真空泵有哪些?为何高真空泵需串接前级泵?

来源:新能源网
时间:2024-08-17 08:10:32
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高真空泵有哪些?低真空泵有哪些?为何高真空泵需串接前级泵?【专家解说】:目前常用的高真空泵有分子泵,冷泵,油扩散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于结构的原因,不能在较差的真空状态

【专家解说】:目前常用的高真空泵有分子泵,冷泵,油扩散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于结构的原因,不能在较差的真空状态下工作,需串接前级泵预抽真空.