磁控溅射太阳能电池预镀Mo薄膜及其性能

【摘要】：利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备,研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度的影响,并对Mo膜的物理性能及电学性能进行了研究。结果表明,Mo薄膜的厚度与溅射时间近似的成正比关系,Mo膜的电阻率先降低,并在膜厚为0.3μm处达到最低,而后电阻率逐渐增加。 【作者单位】： 辽宁科技大学工程训练中心;鞍钢技术中心;东北大学;
【关键词】： 太阳能电池 磁控溅射 Mo薄膜
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： Mo薄膜作为太阳能电池的反射层,其高的热稳定性和机械强度以及良好的电学性能越来越受到人们的重视。Mo薄膜性能的好坏直接影响到吸收层CIS薄膜的形核、生长以及表面形貌,进而对电池性能产生重要影响。以Mo薄膜作为背反射层,通过“三源共蒸工艺”制备的小面积CIS薄膜,其试验

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