基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法

【摘要】：在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试。测试结果表明,基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善。 【作者单位】： 中煤科工集团重庆研究院有限公司;
【关键词】： 甲烷检测 载体催化检测 微机电系统 MEMS
【基金】：重庆市煤监局煤炭发展专项资金资助项目(渝煤〔2014〕-kj-09) 中国煤炭科工集团有限公司科技创新基金面上项目(2014MS025)
【分类号】：TD712.55
【正文快照】： 0引言中国煤矿安全形势一直较为严峻,尤其是瓦斯灾害,破坏力极大,仅2014年就有超过200人在瓦斯爆炸事故中丧生,瓦斯灾害监测装备的技术性能仍有待提高。甲烷气体浓度是瓦斯灾害监测的主要参数。目前中国煤矿井下普遍使用基于载体催化原理的甲烷检测装备,其技术成熟、成本低廉

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