基于微加热器平台的高性能甲烷传感器

【摘要】：设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m~3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m~3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用. 【作者单位】： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;微系统技术国家实验室;中国科学院固体物理研究所;
【关键词】： 甲烷传感器 微加热器平台 原位制备二氧化锡 模板法 微纳融合
【基金】：国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01) 国家自然科学基金创新群体项目(61321492);国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304)
【分类号】：TP212.2
【正文快照】： 0引言随着工业现代化的发展和人们生活水平的不断提高,易燃、易爆、有毒有害气体的检测对于日常生活、安全监控、环境保护和系统过程控制等方面显得越来越重要.甲烷(CH4)是天然气、沼气和多种液体燃料的主要成份,在工业领域和日常生活中广泛应用,是典型的易燃易爆气体,使得对

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