(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备

【摘要】：大型蒸发镀膜设备需要配置抽速几万L/s以上的高真空泵。目前,国内外大型蒸发镀膜设备都采用油扩散泵抽气,成为目前高能耗、高油蒸汽污染扩散泵的主要应用阵地。 【作者单位】：深圳大学物理科学与技术学院 摩尔市真空技术有限公司 上海三井真空设备有限公司 上海协元低温真空设备厂 深圳市振恒昌实业有限公司 深圳丽星电子科技有限公司
【分类号】：TH38
【正文快照】： 最近，我们采用4台抽速1，oooL/s的分子增压泵+l台0.4m2深冷水汽泵组成高真空抽气机姐，成功取代了为巾1600x1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K一800扩散泵和I台ZJ一1200罗茨泵抽气机组，取得了下列优异成果: .抽气能耗:2.5度/炉，比原设备节省80%，年节电30~40万度/台，相当于

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