硅基仿生自清洁表面的制备及其润湿特性的研究
硅基仿生自清洁表面的制备及其润湿特性的研究【摘要】:基于“荷叶效应”的表面自清洁技术已经引起了人们的广泛关注。但传统的研究方法大多是基于“自下而上”的技术手段,而对利用“自上而下”
【学位授予单位】:青岛理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:O647.1
【目录】:
- 摘要8-9
- Abstract9-11
- 第1章 绪论11-22
- 1.1 纳米技术与纳米制造11-12
- 1.2 仿生微纳结构的制备思想12-17
- 1.2.1 荷叶效应12-16
- 1.2.2 猪笼草效应16-17
- 1.3 蚀刻技术17-20
- 1.3.1 化学湿法蚀刻技术18
- 1.3.2 干法蚀刻技术18-20
- 1.4 本论文研究背景与意义20
- 1.5 本论文研究的主要内容20-22
- 第2章 实验原理、方法与仪器22-29
- 2.1 基底表面粗糙化的制备机理22-23
- 2.2 试验所用仪器与设备23-27
- 2.2.1 真空紫外光刻/表面处理装置23-24
- 2.2.2 扫描电子显微镜24
- 2.2.3 原子力显微镜24-26
- 2.2.4 动态接触角测量仪26
- 2.2.5 离子溅射仪26-27
- 2.3 实验所用到的试剂27-29
- 第3章 多孔隙硅基双疏表面的制备29-46
- 3.1 制备原理与过程29-30
- 3.2 样品形貌分析30-33
- 3.3 参数对薄膜润湿性的影响33-40
- 3.3.1 基底成分对表面润湿性的影响33-35
- 3.3.2 蚀刻时间和蚀刻液浓度对表面润湿性的影响35-40
- 3.3 薄膜表面改性及热处理探究40-43
- 3.4 薄膜的 AFM 表征43-44
- 3.5 本章小结44-46
- 第4章 滑动多孔隙表面 SLIPS 的制备46-57
- 4.1 实验步骤与过程47
- 4.2 SLIPS 表面动态润湿性分析47-53
- 4.3 预浸润液体种类对表面形貌的影响53-55
- 4.4 本章小结55-57
- 第5章 基于荷叶表面的多级复合微结构的制备57-65
- 5.1 仿荷叶表面制备思想与制备过程57-58
- 5.2 实验结果分析58-63
- 5.2.1 表面形貌分析58-59
- 5.2.2 薄膜表面的润湿性分析59-63
- 5.3 本章小结63-65
- 第6章 铝基表面的简易双疏处理工艺探讨65-72
- 6.1 化学湿法蚀刻制备 Al 基疏水薄膜65-67
- 6.1.1 实验原理与实验过程65-66
- 6.1.2 实验结果分析66-67
- 6.2 热生长法制备 Al 基双疏薄膜67-71
- 6.2.1 实验原理与实验过程67-68
- 6.2.2 实验结果分析68-71
- 6.3 本章小结71-72
- 结论72-74
- 参考文献74-78
- 攻读硕士学位期间完成的学术论文及成果78-79
- 致谢79
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