氧化锡甲烷传感器的研究

【摘要】：以 Sn O2 为本底 ,掺杂以 Pd、Sb、Y、Nb等元素并进行外层催化处理 ,催化层由Al2 O3和 Pt组成 ,研制成能够探测 ( 50～ 1 0 0 0 0 )× 1 0 - 6甲烷、抗干扰性非常好的半导体气体传感器 .这种传感器对 C2 H5OH、H2 、CO等气体的灵敏度很低 .在催化层和底层敏感材料之间涂覆一层 Si O2 、α-Al2 O3隔离层 ,大大提高了传感器的稳定性 【作者单位】： 北京科力强电子有限公司
【关键词】： SnO 催化 甲烷 抗干扰性 隔离层
【分类号】：TP212.2
【正文快照】： 1　引　言　　由于 CH4本身特殊的四面体结构 ,使之性能特别稳定 .C-H键键能为 41 2 .5k J/ mol,破坏碳氢键需要很大的能量 ,所以 CH4气体除燃烧外 ,不易发生化学反应 .以前探测甲烷及其报警装置都是用催化载体式元件 ,这种元件的最大缺点是寿命短 ,而且所需元件大部分来自进

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