热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响
热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响【摘要】:以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(Hot filaments chemical vapor deposit
【关键词】: 金刚石薄膜 甲烷体积分数 热丝辐射距离 拉曼光谱 热丝化学气相沉积
【基金】:粉末冶金国家重点实验室开放基金资助项目(2008112048) 湖南省研究生创新基金资助项目(1343-74236000005) 中南大学贵重仪器开放共享基金资助项目(ZKJ2008001);中南大学优秀博士论文扶持基金资助项目(2008yb015)
【分类号】:TB383.2
【正文快照】: 金刚石具有最高的硬度(10 000 HV)、最大的耐压强度(110 GPa)以及最高的热导率(2 200 W/(m·K))和低的滑动摩擦因数(0.03)[1-2]。在硬质合金工具表面制备金刚石涂层可显著提高工具的使用寿命和改善加工性能,其市场潜力巨大,可用于加工非铁合金和硬脆非金属材料(如陶瓷、石墨
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化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质 黄元盛,罗承萍,邱万奇
用拉曼波谱分析金刚石膜的内应力 方亮,王万录,陈星明,郭忠诚,廖克俊
纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力 徐锋;左敦稳;卢文壮;张海余;王珉;
大面积金刚石薄膜的均匀性 苟立;刘炼;冉均国;戴孟乔;郑元元;
化学脱钴对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响 魏秋平;余志明;马莉;杨莉;刘王平;肖和;
高温超导YBCO薄膜及其制备 林炜;马瑞新;
工艺参数对Ti和NdFeB薄膜形态的影响 傅明喜,李岩,查燕青,宗华,卢永惠
基体表面形貌对膜基结合强度影响规律的研究 周兰英;和庆娣;程平;
溅射技术在SiC薄膜沉积中的应用和工艺研究进展 梅芳;弓满锋;李玲;
TiO_2薄膜在玻璃材料上的亲水性研究 汪宇炎;汪洋;
金刚石的异常双折射特征及其意义 杨明星
磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响 周志华,傅明喜,黄兴民,陆琼晔
石英玻璃表面金属沉积层的界面研究 崔新强;蒋宝财;郭向朝;
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展 晏建武;周继承;鲁世强;田莉;
爆炸物检测SAW传感器膜材料研究进展 杨亮亮;魏东炜;李复生;马晋毅;江洪敏;
直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征 张湘辉;汪灵;龙剑平;常嗣和;周九根;
掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;
磁控溅射在空心微珠颗粒表面制备不同金属膜的研究 俞晓正;沈志刚;
气体流量控制对磁控溅射Al_2O_3薄膜的影响 张继凯;朱昌;苏俊宏;
RAMAN光谱方法测定碳纤维应力 刘汉臣;王秋萍;王晶;张英堂;唐远河;
热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的生长取向及内应力研究 邢文娟;汪建华;王传新;
面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究 游峰
ZnO薄膜的N相关掺杂及p-ZnO欧姆接触的研究 卢洋藩
闭合场非平衡磁控溅射沉积的CrAlN薄膜组织结构和性能研究 余春燕
表面沉积纳米二氧化钛纺织材料的制备及其性能研究 徐阳
利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究 李明
NbN、WN_x单层膜以及NbN基多层膜的微观结构和力学性能研究 文懋
4H-SiC基紫外探测器减反射膜的设计、制备及应用 张峰
ZnO薄膜的MOCVD制备及ZnO/Si发光器件研究 李香萍
化学法制备负热膨胀性ZrW_2O_8粉体及薄膜 孙秀娟
脉冲激光沉积(PLD)碲镉汞(HgCdTe)薄膜材料结构特性的研究 刘玫
剃须刀片刃口上镀类金刚石膜的实验研究 毛羽宏
钽薄膜电阻的制备及性能研究 夏丰金
磁控溅射制备MoS_2基复合薄膜的结构与性能研究 李倩倩
溶胶—凝胶法制备NiCuZn铁氧体薄膜和粉体的研究 高良秋
PVD制备超硬多层复合薄膜材料工艺与性能研究 刘鑫
基于大功率晶体管背面金属化溅射工艺的设计 侯海峰
等离子体束溅射镀膜机研制及工作机理研究 何鹏
大功率晶体管背面金属化的研究与优化设计 许艺
用PECVD制备类金刚石膜的研究 于玥
溅射工艺对ZnO、TiO_2薄膜结构和光特性影响 祐卫国
微波等离子体CVD金刚石薄膜的显微结构 袁逸,杨保雄,白元强,王建军,吕反修
火焰法沉积金刚石薄膜的组织结构 郭志猛,殷声,赖和怡
YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响 魏秋平;余志明;马莉;胡德莹;李媛;刘王平;肖和;
薄膜结合强度的刮剥式测量方法 谢中维,朱静
金刚石中氢的研究及其意义 杨志军,彭明生,苑执中
类金刚石膜的力学性能及其工具应用 刘志平;王加春;杨育林;
去钴深度的测定及其对硬质合金性能的影响 宋金亮;赵燕玲;
大面积均匀纳米金刚石薄膜制备研究 龚辉,范正修,姜辛,Klages CP
纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能 李学敏;汪家道;陈大融;刘兵;刘峰斌;
高钴硬质合金基底上化学气相沉积金刚石膜的研究 曾谊晖,刘忠,罗飞霞,柏春旺
金刚石薄膜的表面成分和形貌对表面能的影响 何琨;苟立;冉均国;
HFCVD金刚石薄膜表面的氨基修饰方法 安云玲;常明;
基体预处理对氧化铍基金刚石膜性能的影响 方梅;余志明;肖柱;陈爽;陈永勤;
氩气对直流弧光放电PCVD金刚石薄膜晶体特征的影响 张湘辉;汪灵;龙剑平;常嗣和;
NiSi薄膜的拉曼研究 万里;张学飞;唐波;
喷射CVD法制备金刚石厚膜及其内应力分析 洪松;杨保和;李明吉;吴晓国;
金刚石纳米粉引晶方法制备金刚石薄膜方法 陈庆东;杨传径;王辉;刘才龙;
聚乙烯密度的拉曼光谱检测 陈杰勋;王靖岱;蒋斌波;阳永荣;
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金刚石薄膜的制备、表征和场发射性能 杨保华;陈三;熊勇;王红艳;
生物组织和细胞的激光拉曼光谱研究进展 胡继明;
新方法和新仪器推动表面拉曼光谱研究不断深入发展 田中群;
线聚焦模式提高拉曼光谱的检测灵敏度 汪安;任斌;田中群;
电场对石墨烯增强拉曼散射中增强因子的调制研究 徐华;张浩力;张锦;刘忠范;
纳米增强拉曼光谱(NERS)及其在电化学中的应用 田中群;
形状各向异性氧化铁纳米晶粒的合成和光催化性能研究 周雪梅;阳洪超;毛晓波;王晨轩;杨延莲;王琛;刘刚;
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水热法制备钛酸盐纳米管的晶体结构研究 田宝丽;黄灿领;杜祖亮;
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“书画真伪科学鉴定系统”项目通过验收 记者 游雪晴
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打造显示技术创新中心 本报记者 刘肖勇 通讯员 刘楚珠
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几种有序表面增强拉曼散射基底的制备及其增强效应研究 傅小奇
碳纳米管、纳米金刚石、空心碳球及其复合物的PECVD制备和特性研究 杨光敏
不对称酰氨基卟啉及其配合物的合成和性能研究 庄长福
古代壁画中颜料及染料的拉曼光谱研究 常晶晶
驰豫铁电铌酸钙钡系列晶体生长与性能研究 高文兰
CO在贵金属电极表面吸附及氧化的电化学原位表面增强拉曼光谱研究 张普
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单壁碳纳米管拉曼光谱及电输运性质研究 高平奇
四氮杂卟啉的量子化学计算和光谱研究 卢同同
碳酸盐岩烃类包裹体形成机制及其对油气成藏的响应 葛云锦
Fe~(3+)掺杂CeO_2纳米材料催化H_2O_2降解二号橙染料的研究 蔡万东
拉曼光谱法在生物分子及细菌研究中的应用 任毅华
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荧光种子增强受激拉曼散射的研究 夏菁
乙醇—水溶液的拉曼光谱与分子结构分析研究 管思阳
熔融硝酸盐裁短的碳纳米管的结构及性能研究 葛恩报
用Raman光谱研究碳纤维结构及其微观力学性能 蔡则田
拉曼光谱在聚合物产品质量检测中的应用 陈杰勋
Cr~(4+):Ca_2GeO_4激光晶体生长及性能表征 张山丽
掺稀土(Dy,Tb):KYb(WO_4)_2激光晶体生长与性能研究 杨健佼
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