太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制

【摘要】：介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量。该设备操作简单,是一种实用、高效的生产型工艺设备。 【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十八研究所;
【关键词】： 等离子体 反应离子 刻蚀原理 工艺实验
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 等离子体刻蚀是太阳能电池片生产工艺中的一项关键技术,它的效果直接影响太阳能电池的漏电流和开路电压,继而影响电池的转换效率。整机采用OMRON公司的CJ1M型PLC和NS8触摸屏设计实现全自动控制,该设备已在实际生产中得到成功应用。1工作原理1.1等离子体刻蚀原理等离子体是物

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