当前位置: 首页 > 学术论文 > 清洁节能 > 正文

用X射线光电子能谱测定InP(100)清洁表面的原子浓度比

关注热度:106   来源:新能源学术论文  作者:俞鸣人 杨光 王迅
相似论文 相关推荐 你可能关注 点击排行 我要评论

【摘要】:根据 XPS的强度测量和作者先前确定的原子灵敏度因子,测定了InP(100)表面的In/P原子比。实验结果表明氩离子轰击有择优溅射作用,在1keV刻蚀能量下,In/P浓度比为2.2,随氩离子能量增加而单调上升。样品在超高真空中300℃附近退火30分钟后,表面In/P比降为1.2,接近于体内化学计量比的值。从XPS强度的角度关系和In 3d_(5/2)结合能的化学位移中可以推测,离子轰击造成In—P化学键的破裂,在退火后又重新键合,使得表面成为有序结构,而最外层原子是富铟的。
【作者单位】: 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学物理系
【关键词】清洁表面 氩离子刻蚀 原子浓度 X射线光电子能谱 原子比 择优溅射 原子层 近表面 原子灵敏度因子 x射线光电子能谱
【正文快照】:
—L口 InP是一种在微波器件、光电器件和高速集成电路制造方面很有前途的半导体,其器件特性在很大程度上同材料的表面状况有关.从原子清洁表面出发,研究有金属覆盖或气体(如氧)吸附后发生的结构和电子态的变化,将是从根本上弄清MIs或Mtis界面特性的有效途径.在‘InP的三个低


您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

用低能电子衍射研究小面结构——在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体表面的应用    陈平,侯晓远,丁训民,董国胜,杨曙,王迅

纳米TiO_2的制备方法    唐阳清,周馨我

纳米材料综述    杨剑,滕凤恩

纳米材料的结构、性能及应用    丁星兆,柳襄怀

纳米晶体材料的研究现状    卢柯,周飞

深度轧制细化工业纯铁晶粒    王胜刚,龙康,龙期威

纳米晶粒多晶Si薄膜的低压化学气相沉积    彭英才;马蕾;康建波;范志东;简红彬;

敏化的TiO_2纳米晶表面形貌、晶相、光谱及光催化灭菌研究    李敏,王振岭,石恒真,曾毅

Al_xGa_(1-x)As(100)表面性质的研究    黄春晖,卢学坤,丁训民

CdTe(111)表面电子结构    张海峰,李永平,方容川,杨凤源,徐彭寿

OPCOT在Ru(0001)表面上的紫外光电子能谱研究    吕斌,吕萍,施申蕾,张建华,唐建新,楼辉,何丕模,鲍世宁

纳米晶块体镍的喷射高速电沉积及其微观结构研究    熊毅

Si(111)7×7清洁表面的总电流谱    王向东,胡际璜,戴道宣

GaAs_(1-x)P_x(110)清洁表面结构和电子态的研究    徐永年,张开明

O_2的化学吸附对2H—MoS_2(0001)清洁表面和离子溅射表面电子结构的影响    胡永军,林彰达,王昌衡,谢侃

一种可能的InP(100)(4×2)表面原子结构模型    侯晓远,董国胜,丁训民,王迅

氩离子刻蚀对高温超导YBCO薄膜物理特性的影响    慕利娟;朴云龙;张晓平;赵永刚;魏斌;曹必松;江少林;

铂纳米团簇在修饰的HOPG表面的生长及性能表征    张辉;张镇;姚运喜;谭大力;包信和;

Si(100)表面电子态的总电流谱研究    王向东,胡际璜,葛毓青,戴道宣

表面物理讲座第二讲 晶体表面的几何结构    沈毓沂

水汽在淀积金属钠的InP()表面的吸附    董国胜,丁训民,侯晓远,王迅

硝基甲烷在Cu(111)表面吸附的LEED、AES和UPS研究    张训生,杜志强

金属铀表面铝薄膜生长行为的XPS研究    罗丽珠;刘柯钊;杨江荣;肖红;

氮化铝表面氧吸附研究    耶红刚;陈光德;

铁磁性半金属CrO_2表面的几何结构和电子态的第一性原理研究    洪峰

镍与磷化镓表面吸附特性的第一性原理研究    李登峰

硅表面氧吸附、扩散及硅氧团簇形成的理论研究    杨冲

硅(100)表面纳米结构及附加硅的沉积扩散行为    黄燕

欠掺Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)超导体的本征电子隧道谱    袁涛

SiC生长初期C原子沉积过程的分子动力学模拟    滕晓云

 
关键词: 清洁表面

[ 学术论文搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 违规举报 ]  [ 关闭窗口 ]

 
相关学术论文推荐
 
0条 [查看全部]  相关评论
 
推荐论文
智能推荐
 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言