【摘要】：本文首先叙述了清洁超高真空的基本概念，并指出了污染的来源及其危害性。 叙述了各种清洁的超高真空获得手段。主要介绍了溅射离子泵、升华钛泵和用油扩散荣获得清洁的超高真空的方法。 叙述了用分子筛泵和机械泵获得粗真空的方法。 介绍了鉴别污染的各种方法及在超高真空中各种清除污染的方法。
【作者单位】：
广东工学院
【关键词】： 抽速 升华器 吸气面 抽气 机械泵 极限压强 超高真空 油蒸汽 分子筛 溅射离子泵
【正文快照】：
【关键词】： 抽速 升华器 吸气面 抽气 机械泵 极限压强 超高真空 油蒸汽 分子筛 溅射离子泵
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t-JI po 早期的超高真空获得手段主要是采用油扩散系,这种系的工作液蒸汽是污染真空系统的主要来源。在设法减少工作液污染的同时,人们又通用钛京来获得超高真空。钛泵是一种避免泵油污染的良好办法。这样的抽气系统在佳称之为“无油”或“清洁”的抽气系统。 对某些应用,即
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