P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究

【摘要】：根据半导体的特殊电性能建立了抽象的放电加工模型,该模型分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件模型近似代表半导体与金属进电端的接触势垒、半导体的体电阻、极间放电的维持电压以及工作液电阻;根据所建立的模型分析发现,半导体电火花线切割具有单向导通性、击穿电压高等特点,并且加工过程中进电端会出现钝化现象。为此,研制了针对P型太阳能级硅切割的专用夹具,并对电阻率为2.1Ω.cm的P型太阳能级硅锭进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min。 【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【关键词】： 硅 太阳能 电火花 线切割 模型
【基金】：国家自然科学基金(50975142)资助项目 江苏省科技支撑项目(BE2009261)资助项目;江苏省科技计划(BG2007004)资助项目
【分类号】：TG484
【正文快照】： 太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源,光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等优点。作为光伏电池基片的太阳能级硅片,掺杂浓度比较高,电阻率通常在1~10Ω·cm范围内,利用电火花线切割(W EDM)加工是比较适合的[1-2]。采用W EDM技术加工太

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