太阳能级Si片清洗工艺分析

【摘要】：在实验基础上对太阳能级Si片碱性清洗工艺进行了分析,指出碱性清洗液在适宜的工艺环境下,配合超声清洗和表面活性剂的使用可以获得良好的清洗效果。结果表明,表面金属浓度分别达到Cu元素小于1.3×10~(14)atoms/cm~2,Fe元素小于5×10~(13)atoms/cm~2。碱性清洗液与Si晶体发生两步化学反应,平衡后OH~-离子浓度保持稳定,是以获得稳定的清洗效果同时提高清洗液的使用效率。 【作者单位】： 河北工业大学化工学院;河北工业大学材料学院;中国电子科技集团公司第四十五研究所;
【关键词】： 硅片 碱性清洗 表面活性剂 超声清洗 对太阳能级
【分类号】：TN305.2
【正文快照】： O引言随着光伏产业的迅猛发展，太阳能用Si片质量要求也愈加严格。清洗作为制备太阳能用Si片的关键步骤，对Si片质量，包括叨四、Ra、表面金属浓度等乃至后续的制绒工艺都有至关重要的影响。Si片表面沾污主要是有机物沾污，颗粒沾污以及金属离子沾污，如Cu，Fe，Na等。Fe的扩

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