紫外光/臭氧表面清洁仪及其应用

【摘要】：一种紫外光/臭氧表面清洁仪已经研制成功。这种仪器操作简单,可以在窒温下、大气中进行干法清洁,装备这种仪器的费用低廉。俄歇电子能谱分析议和X射线光电子能谱分析仪的分析结果表明,紫外光/臭氧清洁是一种去除吸附在物体表面上的碳和各种碳氢化合物污染的有效方法。本文介绍紫外光/臭氧清洁方法的工作机理、实际装置、几种典型材料的处理结果、应用范围以及一些应用实例。 【作者单位】： 中国科学院电子学研究所 中国科学院电子学研究所
【关键词】： 紫外光源 光电子能谱仪 碳氢化合物污染 分析结果 应用范围 分析仪 高压汞灯 原子氧 氧化作用 臭氧分解
【正文快照】： 引言 人们早就知道紫外光具有分解淡氢化合物的能力。但是用它去除吸附在物体表面上的污染物的研究工作直到七十年代初期才开始“’。由于这种方法操作方便、费用低廉、能够在短时间内高效率地去除吸附在物沐表面上的碳和碳氢化合物,迅速地得到广泛应用。相对于化学溶剂的湿

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