太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备

【摘要】：熔融石英坩埚是生产太阳能多晶硅铸锭的必要容器,为脱模方便,需在其内表面喷涂一层氮化硅.采用高纯氮化硅粉在国产石英坩埚上喷涂,研究喷涂氮化硅浆液时石英基底温度和涂膜厚度对石英坩埚氮化硅涂层结合强度的影响.结果表明:采用高纯氮化硅粉喷涂石英坩埚基底,温度应在40℃以下且喷涂涂层厚度不宜超过80μm. 【作者单位】： 襄樊学院建筑工程学院;
【关键词】： 太阳能多晶硅 石英坩埚 氮化硅 结合强度 划格试验法
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 在传统能源濒临枯竭,油、煤和天然气价格节节攀升的紧迫形势下,新能源之一的太阳能倍受世界各国重视,作为太阳能电池最主要的原材料多晶硅需求量也在激剧增长.在多晶硅铸锭过程中,为了防止熔融硅与石英陶瓷坩埚反应并容易脱模分离,需要在坩埚内表面进行涂层.涂层要求高纯,不

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