真空技术中的清洁处理(一)
真空技术中的清洁处理(一)【摘要】:正 一、概述真空中的清洁处理一般指的是真空装置在装成整机前或在使用过程中进行清洁处理,去掉污染物,从而消除或减少污染物对零件的污染问题。清洁处理
【关键词】: 清洁处理 真空设备 污染物 极限真空 真空装置 真空卫生 直接影响 超高真空 真空系统 真空工艺
【正文快照】: 一、概述 真空中的清洁处理一般指的是真空装置在装成整机前或在使用过程中进行清洁处理,去掉污染物,从而消除或减少污染物对零件的污染间题〔’一“习。清洁处理是否符合要求,将直接影响到系统的极限真空以及电真空器件的寿命和可靠性。 真空装置由许多不同的零件组成,它们
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