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12位清洁开关管真空排气系统

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 17:07:30
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12位清洁开关管真空排气系统【摘要】:这个系统是真空开关管的真空排气系统。由机架、主真空室、12支预抽管路、超高真空插板阀和ZDB-250型低温泵组成。经过半年的运转系统工作正常。

【摘要】:这个系统是真空开关管的真空排气系统。由机架、主真空室、12支预抽管路、超高真空插板阀和ZDB-250型低温泵组成。经过半年的运转系统工作正常。 【作者单位】: 核工业西南物理研究院
【关键词】排气系统 低温泵 真空
【分类号】:TN108.5
【正文快照】: 12位清洁开关管真空排气系统兰伟,王纯礼(核工业西南物理研究院)A12WORKINGUNITSVACUUMEXHAUSTSYSTEMOFCLEANVACUUMSWITCHINGTUBE¥LanWei;WangChunli(SouthwesternIns

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