SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展
SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展【摘要】:甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制
【关键词】: 甲烷 二氧化锡 气体传感器 金属氧化物半导体薄膜
【基金】:中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N090403001)
【分类号】:TP212.2
【正文快照】: 甲烷(即瓦斯CH4)事故是煤矿生产的最大障碍之一,及时检测其产生泄露源及浓度,对工矿安全有着十分重要的作用[1-2]。它还是一种重要的温室气体,它对温室效应的影响是CO2的22倍[3]。目前,对CH4的检测主要有催化燃烧法、金属氧化物半导体气敏法、红外光谱法、气相色谱法、光纤法
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