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SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 17:02:52
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SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展【摘要】:甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制

【摘要】:甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究以提高传感器的性能,如新气敏材料的研究、催化剂/添加剂的使用、气敏机理的探索、传感器结构改进及气敏膜的表面修饰改性等。本文从气敏膜制备与改性、传感器结构设计及气敏机理研究三个方面,综述了近年来SnO2复合薄膜甲烷传感器的研究进展,结果表明:①应开发复合型金属氧化物半导体及高分子气敏材料,以提高灵敏度、选择性与稳定性;②研发微型智能传感器是未来发展的主要方向,而自组装技术应可用于制备金属氧化物半导体薄膜气体传感器微纳阵列;③气敏机理应与实验测试、材料设计及器件制备进行对照研究。 【作者单位】: 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心;
【关键词】甲烷 二氧化锡 气体传感器 金属氧化物半导体薄膜
【基金】:中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N090403001)
【分类号】:TP212.2
【正文快照】: 甲烷(即瓦斯CH4)事故是煤矿生产的最大障碍之一,及时检测其产生泄露源及浓度,对工矿安全有着十分重要的作用[1-2]。它还是一种重要的温室气体,它对温室效应的影响是CO2的22倍[3]。目前,对CH4的检测主要有催化燃烧法、金属氧化物半导体气敏法、红外光谱法、气相色谱法、光纤法

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