GaAs光电阴极片原子级表面清洁方法的研究及评价

【摘要】：本文对ＧａＡｓ光电阴极片ＵＨＶ系统中原子级表面清洁方法做了研究，它们是：光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法，表面清洁效果用装于ＵＨＶ系统中间在线俄歇检测，表面质量用Ａａ／ＧａＡｕｇｅｒ峰高进行比较，指出两种用于第三代象增强器光电阴极的表面清洁方法：ＣＳ－离子轰击加退火法和热子背加热法。 【作者单位】： 中国科学院西安光学精密机械研究所
【关键词】： 原子级清洁 光加热 直接加热 离子轰击 热子
【分类号】：TN203
【正文快照】： ＧａＡｓ光电阴极片原子级表面清洁方法的研究及评价孙长印，张书明，马秀玲，侯洵（中国科学院西安光学精密机械研究所７１００６８）摘要本文对ＧａＡｓ光电阴极片ＵＨＶ系统中原子级表面清洁方法做了研究，它们是：光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法，

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