太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

【摘要】：介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。 【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十八研究所;UAE
【关键词】： 等离子体 刻蚀 工艺 实验
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 当石油、煤炭、天燃气等不可再生能源频频告急,能源问题日益成为制约社会经济发展的瓶颈时,越来越多的国家开始实行“阳光计划”,开发太阳能资源,寻求经济发展的新动力。各国对环境的保护和对再生清洁能源的巨大需求,促使太阳能电池制造技术不断改进以及新的光-电转换装置的

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