空间太阳能电池用超薄锗单晶片的清洗技术

【摘要】：由于锗在常温时即不与浓碱发生反应,也不与单一的强酸反应[1],因此其清洗机理与硅、砷化镓等材料相差较大[2,3]。在大量实验的基础上,阐述了锗单晶抛光片的清洗机理。通过对锗抛光片表面有机物和颗粒的去除技术研究,建立了超薄锗单晶抛光片的清洗技术,利用该技术清洗的超薄锗单晶抛光片完全满足了空间高效太阳电池的使用要求。 【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十六研究所;
【关键词】： 锗单晶抛光片 清洗 空间太阳能电池
【分类号】：TN305.97
【正文快照】： 与传统的硅太阳电池相比,以锗单晶为衬底的化合物太阳电池具有转换效率高、耐高温、抗辐射、可靠性强等优势,在空间得到了越来越广泛的应用[4]。随着我国航天工业的飞速发展,对锗单晶衬底片的需求量越来越大。但国内锗衬底抛光片,在晶片表面质量方面与国外产品相比还有一定差

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