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美开发出清洁芯片的环保新技术

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 16:41:47
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美开发出清洁芯片的环保新技术【摘要】:【关键词】:新技术 超临界二氧化碳 光致抗蚀剂 腐蚀性物质 电脑芯片 集成电路 国家实验室 封闭循环系统 温室气体 环保技术

【摘要】: 【关键词】新技术 超临界二氧化碳 光致抗蚀剂 腐蚀性物质 电脑芯片 集成电路 国家实验室 封闭循环系统 温室气体 环保技术
【分类号】:X383
【正文快照】: 美国国家能源部洛斯阿拉莫斯国家实验室的科学家宣布,他们已经开发出一种新型环保技术,可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质,同时不会产生大量废水。 一般在生产芯片过程中,首先要使用高强光、强酸和光致抗蚀剂等腐蚀性物质来改变硅片外形,刻蚀出微

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