太阳能级硅切割废料的回收技术

【摘要】：太阳能级硅棒在切割生产硅晶片过程中会产生大量的切割废料。概述了废料中切割液和碳化硅回收技术的进展,重点介绍和分析了价值更高的硅与碳化硅微粉分离回收技术的特点及现状,并比较各种方法的优缺点,同时结合自身的课题研究,提出了新的解决思路。分析认为先通过离心、浮选等方法对切割废料初步提纯后再经高温热处理或合金化等方法将其进一步分离,是较有前景的回收技术。 【作者单位】： 北京科技大学冶金与生态工程学院;
【关键词】： 太阳能级硅 切割废料 回收利用 碳化硅
【基金】：长江学者和创新团队发展计划(IRT0708)
【分类号】：X705
【正文快照】： 随着光伏产业和半导体产业的快速发展,全球对太阳能级硅的需求高速增长,从2005年的近3万t增加到2009年的9万t,年增长率为40%～50%[1]。太阳能级硅棒被切割成硅晶片时将会产生大量的切割废料。以聚乙二醇等为切割液,碳化硅为磨料,在切割线的作用下,将硅棒切割成厚度约为100μm

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