清洁芯片的环保新技术

【摘要】： 【关键词】： 新技术 腐蚀性物质 光致抗蚀剂 超临界二氧化碳 芯片制造 纯净水 集成电路 封闭循环系统 温室气体 环保技术
【分类号】：TN405
【正文快照】： 美国国家能源部的科学家开发出一种新型环保技术，可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质，同时不会产生大量废水。一般在生产芯片过程中，首先要使用高强光、强酸和光致抗蚀剂等腐蚀性物质来改变硅片外形，刻蚀出微型集成电路及芯片，然后再用大量溶媒和

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