CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究

【摘要】：利用磁控溅射技术在Soda-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响。结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo靶溅射功率可以促进薄膜晶粒长大、提高薄膜的致密性、降低电阻率;合适的基片脉冲电压脉宽促进了晶核的形成、长大并有助于沉积过程中Mo晶粒长大,进而降低薄膜电阻率;通过延长预清洗时间可获得致密性好、电阻率低的Mo薄膜,所获得的Mo薄膜最低电阻率为3.5×10-5Ω.cm。 【作者单位】： 西安理工大学材料学院;
【关键词】： Mo薄膜 磁控溅射 XRD SEM
【基金】：陕西省自然科学基金(101-221007) 陕西省重点学科建设专项资金
【分类号】：O484.1;TM914.42
【正文快照】： 0引言金属Mo薄膜材料已在软X射线反射元件[1,2]、大面积集成电路[3,4]以及太阳能电池电极[5,6]等诸多领域得到广泛应用,特别是作为Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜太阳能电池的背电极材料。主要原因是Mo具有以下特性:(1)高的热稳定性(熔点高达2623℃)和化学稳定性;(2)电阻率为5.2×10-

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