微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用

【摘要】：微晶硅(μc-Si：H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性,器件质量级材料的表征参量,材料的生长技术,微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。 【作者单位】： 河北工业大学 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所 河北工业大学 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所 河北工业大学
【关键词】： 微晶硅 转化效率 等离子体增强化学气相沉积 太阳电池
【基金】：天津市科技发展计划项目(No．06YFGZGX02100) 教育部光电子信息技术科学重点实验室开放课题(No．2005-18) 南开大学博士启动基金(No．J02033)
【分类号】：TM914
【正文快照】： 1引言在众多太阳能电池技术中，单晶硅太阳能电池技术最为成熟，目前在大规模应用和工业生产中，单晶硅太阳能电池仍占主导地位川，但是由于受到单晶硅材料价格以及电池工艺繁琐的影响，单晶硅成本居高不下。相对而言，硅基薄膜太阳能电池制备工艺简单、材料成本低、便于大面

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