大直径太阳能硅片高效低损耗线切割技术研究

【摘要】：随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求。本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述。 【作者单位】： 衢州学院;
【关键词】： 太阳能硅片 大直径 游离磨料多线切割 高效
【基金】：浙江省大学生科技创新活动计划(2011R427011)
【分类号】：TN305.1
【正文快照】： 0引言太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源,最近几年光伏发电发展迅速,原材料价格不断上涨,如何控制成本成为人们关注的新的热点问题。作为太阳能电池的基础材料硅片,越来越向大尺寸化、薄片化趋势发展。在太阳能电池的成本中硅片几乎占了50%的成本,所以利用线切割设备

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