用制冷机低温泵获得清洁无油高真空

【摘要】：制冷机低温泵以其抽速大和无污染的特点,在各行各业得到了广泛的应用。文章介绍了制冷机低温泵的工作原理、结构和特点,以及在国外空间环境模拟设备上的使用情况。着重介绍了自主设计生产的制冷机低温泵在国内最大的空间环境模拟设备中调试和测量的情况,为获得清洁无油高真空取得了良好的效果。 【作者单位】： 北京卫星环境工程研究所 北京卫星环境工程研究所 北京卫星环境工程研究所
【关键词】： 制冷机 低温泵 洁净无油真空 空间环境模拟设备
【分类号】：TB651
【正文快照】： 1前言制冷机低温泵是20世纪70年代末发展起来的一种新型抽气设备,具有无污染、抽速较大、运行平稳、操作简单等优点,目前在国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜以及空间环境模拟设备中得到了广泛的应用。近几年来由于航天器地面模拟试验对环

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