应用于无源UHF RFID标签的CMOS兼容集成微型太阳能电池研究

【摘要】：在标准CMOS工艺下,设计了一种与CMOS工艺兼容的片上集成太阳能电池阵列,通过从外部环境收集光能为UHF射频识别(RFID)标签供电。采用SMIC 0.18μm CMOS工艺制备出太阳能电池阵列,其面积约为0.2mm2;在AM1.5、1 000W/m2、25℃标准测试条件下,测得最大输出功率为10.212μW,短路电流和开路电压分别为28.763μA和0.458V,光电转换效率为5.106%。相对于常规Si太阳能电池复杂的制造工艺,本文太阳能电池阵列与CMOS工艺相兼容,可与电路系统集成从而实现片上供电。 【作者单位】： 天津大学电子信息工程学院;
【关键词】： 射频识别(RFID)标签 CMOS 微型太阳能电池 片上集成
【基金】：国家自然科学基金(61072010)资助项目
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言随着射频识别(RFID)标签技术的不断发展,RFID标签功耗和尺寸均不断减小,集成度和功能不断提高,使得RFID标签的应用越来越广泛。RFID标签分为有源RFID标签和无源RFID标签,其中有源标签使用普通电池或电源供电,因有电源供电,其性能好,功能全,缺点是体积大,成本高。无源标

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