FMCS系统在薄膜太阳能电池工厂中的应用

【摘要】：本文介绍了薄膜太阳能电池工厂的厂务自动控制系统(FMCS)。文中详细介绍了厂务自控系统的整体架构,控制功能。并介绍了霍尼韦尔控制器在厂务自动控制系统中的应用。该系统对半导体工厂生产环境的控制起到了重要作用,提高了自动控制水平。 【作者单位】： 天威薄膜光伏有限公司;
【关键词】： FMCS 薄膜太阳能电池 半导体 自动控制
【分类号】：TM914.42
【正文快照】： 1概述薄膜太阳能电池是太阳能电池的一种,其生产是以玻璃基板为衬底,在衬底上通过化学气相沉积透明导电膜(TCO),然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si,通过激光划刻分成若干串联的子电池。薄膜太阳能设备先进,生产设备及工艺与半导体工厂要求类似,对洁净厂房的环

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