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日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料用于太阳能电池等领域

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 15:48:54
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日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料用于太阳能电池等领域【摘要】:正日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展(nano tech 2013)上展出。

【摘要】:正日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展(nano tech 2013)上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。在结晶硅型太阳能电池的制造工序中,通常要在硅电池单元的受光侧用 【关键词】
【分类号】:TM914.4;F416.6
【正文快照】: 日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SIN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展(nano tech 2013)上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SIN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。在结晶硅型太阳能电池的制造工序中,通常要在

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