SiO_2/TiO_2薄膜的制备及其自清洁减反射性能研究
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【学位授予单位】:暨南大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2013
【分类号】:TB383.2
【目录】:
- 摘要3-4
- Abstract4-7
- 第一章 绪论7-13
- 1.1 研究背景与意义7-8
- 1.2 SiO_2/TiO_2薄膜研究进展8
- 1.3 TiO_2晶格结构8-9
- 1.4 TiO_2的光催化原理9-10
- 1.5 减反射薄膜的原理10-11
- 1.6 SiO_2/TiO_2薄膜的制备方法11
- 1.7 本论文研究内容11-13
- 第二章 实验设备与检测设备13-16
- 2.1 实验仪器设备13-15
- 2.2 检测仪器15-16
- 第三章 磁控溅射法制备纳米 SiO_2/TiO_2复合薄膜16-31
- 3.1 磁控溅射法概述16-18
- 3.2 磁控溅射靶材的制备和分析18-26
- 3.3 磁控溅射基片的清洗26
- 3.4 SiO_2/TiO_2复合薄膜的制备26-31
- 第四章 SiO_2/TiO_2复合薄膜的表征和性能研究31-40
- 4.1 SiO_2/TiO_2复合薄膜 AFM 分析31-32
- 4.2 退火温度对薄膜透光率的影响32-34
- 4.3 TiO_2含量对薄膜透光率的影响34-36
- 4.4 SiO_2/TiO_2薄膜亲水性能测试36-37
- 4.5 SiO_2/TiO_2薄膜光催化性能分析37-39
- 4.6 本章小结39-40
- 第五章 电子束蒸发法制备纳米 SiO_2/TiO_2薄膜及其性能表征40-48
- 5.1 电子束蒸发原理及镀膜设备40-41
- 5.2 SiO_2/TiO_2多层薄膜的光学设计41-43
- 5.3 SiO_2/TiO_2多层薄膜样品的制备43-44
- 5.4 薄膜性能表征44-47
- 5.5 本章小结47-48
- 第六章 总结与展望48-50
- 6.1 总结48-49
- 6.2 展望49-50
- 参考文献50-53
- 硕士在读期间发表的论文53-54
- 致谢54
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