选择性电极型晶硅太阳能电池金属栅线印刷位置精度的检测方法

【摘要】：本文提出一种金属栅线印刷位置的检测方法,适用于直接检测金属栅线印刷位置与选择性重扩散栅线印刷区的重合精度,可以实时在线检测栅线印刷位置精度并反馈偏差值,实现对位印刷的闭环控制。该检测方法同时也为采用图形识别技术和图形对位技术的选择性电极型晶硅太阳能电池丝网印刷设备提供了可直观衡量设备印刷精度的验证方法。此外,利用该检测方法可以实现对网板使用寿命的监测,提高网板和丝网印刷设备的使用率,降低生产成本,简化工艺控制。 【作者单位】： 辽宁省葫芦岛市信息中心;浙江省鸿禧光伏科技股份有限公司;德国JRT光伏技术有限公司;
【关键词】： 选择性电极 晶硅太阳能电池 金属栅线 印刷位置精度
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 选择性电极型晶硅太阳能电池通过提高栅线印刷区载流子扩散浓度来降低金属栅线与电池片的接触电阻,从而提高电池片光电转换效率,其工艺关键点在于金属栅线印刷位置与重扩区的重合精度。目前量产技术已经可以识别并参照重扩区位置进行栅线印刷,而后,由于无法在线准确测量栅线相

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