太阳能级多晶硅生产工艺及污染防治措施

【摘要】：随着太阳能级多晶硅这一新材料的量产,对其生产工艺以及工艺中可能产生的污染环节进行分析,大致掌握工程废水、废气以及固废的排放,有目的提出绿色高产出的多晶硅生产工艺,促进该产业的长足发展。 【作者单位】： 六九硅业有限公司;
【关键词】： 多晶硅 生产工艺 污染
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 随着半导体工艺的不断完善,单晶硅和和太阳能电池等新兴技术大大促进了诸如信号处理、人工智能以及自适应控制等领域的发展,而种种新兴技术的投放,都是以多晶硅作为主要制作材料,因此,多晶硅在信息化时代新材料领域中占有举足轻重的地位。但是我国目前在多晶硅的研发生产领域

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