首页 > 学术论文

清洗高洁净度设备工程技术——以多晶硅工艺设备清洁为例

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 14:55:37
热度:

清洗高洁净度设备工程技术——以多晶硅工艺设备清洁为例【摘要】:在电子制造及其它一些高新技术行业,对设备的洁净度要求都非常高;以多晶硅提纯装置的清洁工程为实例,阐述了高洁净度设备清洗

【摘要】:在电子制造及其它一些高新技术行业,对设备的洁净度要求都非常高;以多晶硅提纯装置的清洁工程为实例,阐述了高洁净度设备清洗系统的工艺流程与操作方法。 【作者单位】: 南京市住建委;中建工业设备安装公司;
【关键词】清洗 循环 浸泡 擦拭 纯水冲洗 干燥
【分类号】:X38
【正文快照】: 1工程概况多晶硅生产装置具有化工、冶金、电子三个行业的特点,工艺系统要求无油、无水、无尘、无泄露,是一个工艺复杂、设备种类众多、对洁净度有很高要求的硅提纯系统。本清洗工艺适用于多晶硅生产装置中的塔器、容器、反应器、换热器、还原炉以及泵类设备的清洗,并适用于

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

多晶硅清洗设备研究    杜飞龙;

冷却水处理剂的应用研制现状及发展趋势    张建华

中性溶液中成膜型缓蚀剂对铁阳极行为的影响    代忠旭,甘复兴,高翠琴,姚禄安

苯骈三氮唑酰基衍生物的缓蚀性能    黄勇,秦技强,杨万生

膦羧酸型缓蚀阻垢剂的缓蚀行为研究    于建辉,彭乔,崔元成

循环冷却水系统中立式蒸发器腐蚀原因分析    李淑英;

动力循环冷却水系统腐蚀特征及防护技术研究    曹水;周立清;陈德斌;

白土精制装置过滤机滤板的腐蚀与防护    王巍;

节能防腐钛纳米聚合物涂料的应用与涂装    王巍;

哈蒙式电站空冷系统内表面的腐蚀与防护探讨    冯跃武,闫润生,张华,齐菊生

油田水无机结垢及预测技术研究进展    肖曾利,蒲春生,时宇,宋向华

循环水系统泄漏及水质恶化对策    王艳红;

节能防腐蚀钛纳米涂层换热管束的研制与应用    薛富津;王巍;高洪贵;

江苏油田油水井防垢防腐复合技术研究    马欣本

有色重金属废水处理与循环利用研究    罗胜联

典型石化设备局部腐蚀特征及腐蚀机理研究    胥聪敏

鞍钢水循环系统分析及节水研究    喻志强

热电厂高频电磁水处理优化控制策略研究    李国芳

循环冷却水新型加酸工艺配方的研究    黄娟

聚环氧琥珀酸阻垢缓蚀性能及机理研究    李晓梅

电厂凝汽器海军黄铜管芯的失效分析与防护研究    王学亮

石化企业循环冷却水提高浓缩倍数的研究    张波

阻垢剂中间体羟甲基磺酸钠的合成与应用    朱福成

甲基咪唑等含氮杂环缓蚀剂在金属表面自组装膜构效关系的研究    张蕊

1,2-苯并吡喃酮衍生物的合成与性能研究    李雪龙

高频电磁水处理系统与控制算法研究    董长城

中和循环法治理硫酸生产废水    李文明

粉煤灰转筒干燥装置实验研究    吕太,张墨,张玉峰,徐建伟,张增山

利用太阳能进行污泥脱水干燥的试验    郑宗和,牛宝联,雷海燕

多晶硅生产:毒污染高耗能不容忽视    金名;

太阳能干燥玫瑰花渣的实验研究    黄三弥,樊巩君,梅元贵

淮南潘谢矿区煤矸石浸泡试验及对环境的影响    张泰芳

垃圾焚烧烟气余热利用的探讨    祝建中,陈烈强,刘培彬

烟气脱硫(FGD)用循环干式洗涤器    周玉昆,董向农

剩余污泥处理技术进展    牛樱,陈季华

中水回用工程在机务段的运用初探    王祚祥

多晶硅副产物四氯化硅的低耗能回收技术研究    郭劲言;刘雯;马秋平;孟庆森;杨国鑫;

论控制农业非点源污染的农业可持续发展战略    孟长伊;孟凡一;陈嵩嵩;徐慧磊;张蕾蕾;李剑飞;

粉-粒喷动床的基础与应用(英文)    马晓迅;曹彬;中里勉;加藤邦夫;贺永德;

氰系及含有重金属电镀废水的双回收循环的方法    陈正书;

小型轧钢厂含油污水处理技术的应用及改造    李芳;温国彤;李铁龙;贾李君;刘大庆;李淑平;袁敏;

全面防治乡村污染 推进生态型新农村建设    陈敏;

炭化技术在污泥处理中的应用    刘静;梁轲;

生物膜水解-好氧循环组合工艺降解氯酚研究    王海涛;李清彪;洪金庆;叶美玲;邵文尧;高志锋;

论钢铁企业焦化工序节能减排    张初永;杨加军;

论控制农业非点源污染的农业可持续发展战略    孟长伊;孟凡一;陈嵩嵩;徐慧磊;张蕾蕾;

“造富神话”遭遇环保令牌 江西多晶硅全省大摸底    本报记者 邓丽 实习记者 庄佳婧

赛维多晶硅项目实现“零”排放    记者 姜小毛 通讯员 廖淑艳

共同参与 美化家园    本报记者 方方

2008中国水污染防治工程技术高层研讨会召开    记者 王晓涛

一个妙方 变凉地球    本报记者 姜海

城市污水提供清洁热能    龚文

“环保牌”打向产业调控    本报记者 陈颖晖

环保产业发展势头良好 百余家企业利润增长    王薇

尽快把研究成果转化为生产力    记者 刘海涛

用科技消灭恼人的蓝藻    本报记者 王晓涛

重庆市土壤—作物系统重金属特征研究    李其林

可降解有机物湿解处理及产物干燥利用的研究    郭淑青

西门子法四氯化硅尾气处理新工艺的探索研究    龙桂花

黄孢原毛平革菌固态培养及其对PCP污染土壤修复研究    窦会娟

SCR板式催化剂的制备与脱硝性能实验研究    王欣

贵州喀斯特石漠化地区人工群落生态系统及其养分循环研究    龙成昌

含铬废渣稳定化处理技术研究    彭莉

太原市麒达环保工程技术有限公司发展战略的研究    刘胜元

阜新某化工厂清洁生产研究    季晓艳

基于AGA的RBF神经网络在电厂水质评价中的研究    罗金鸣

纳米级TiO_2/多晶硅/UV光催化氧化处理水中苯系物的研究    杜远山

资源回收铁法烟气脱硫工艺过程研究    李承禹