等离子体预处理对于太阳能电池性能的影响

【摘要】：在这个研究中,我们验证等离子体预处理对太阳能电池性能的影响,也就是SiNx:H层的性能。我们发现预处理的时间对于沉积物SiNx:H层影响比较小,较短的PECVD预处理时间,其钝化作用相对于长时间预处理更加有效。同时,预处理时间在300秒范围内对于太阳能板的效率起着次要作用。 【作者单位】： 西安黄河光伏科技股份有限公司;
【关键词】： 太阳能板 钝化 PECVD SiNx H
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1介绍表面钝化对于提高太阳能电池的转换效率至关重要。很多绝缘层(电介质)被运用到表面钝化的研究中,例如Al2O3[1-2],a-Si[3],SiC-H[4-5],SiO2[6]等等。SiNx:H表层具有减反射和钝化的作用[1],在优化硅片表面已经成为了现代光伏技术中非常重要的部分。SiNx:H薄膜不仅可以降低

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