PECVD技术在未来高效太阳能电池中的应用

【摘要】：正随着社会经济的发展,能源危机和环境污染问题已成为人类面临的最迫切需要解决的问题。太阳能清洁、无污染、取之不尽用之不竭,太阳能发电技术可以将太阳光的辐射能直接转换为电能,是目前可再生能源技术领域中发展最快、最有前途的技术之一。目前80%以上的太阳能电池由晶体硅材料制备而成,制备高效率、低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义,其中,等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)是制备 【作者单位】： 上海太阳能工程技术研究中心有限公司;
【关键词】： PECVD;太阳能发电技术;晶体硅;非晶硅;能源危机;可再生能源;转换效率;异质结太阳电池;少数载流子;开路电压;
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 随着社会经济的发展,能源危机和环境污染问题已成为人类面临的最迫切需要解决的问题。太阳能清洁、无污染、取之不尽用之不竭,太阳能发电技术可以将太阳光的辐射能直接转换为电能,是目前可再生能源技术领域中发展最快、最有前途的技术之一。目前80%以上的太阳能电池由晶体硅材

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