12时半导体厂节能方案研究

【摘要】：近年来半导体晶圆厂随著新世代制程技术演变,产品由8吋晶圆演变成12吋晶圆,生产厂房面积也越来越大,相对生产厂房耗能也提高。半导体厂耗能除了制程设备外,厂务系统则占了大半的能源消耗。厂务系统包含了冰水系统、外气供应系统、循环空气系统、排气处理系统、真空系统、制程冷卻水系统、超纯水系统、压缩空气系统等。在国际能源日渐短缺,能源费用日趋高涨,节能方案推动为高耗能半导体厂不可或缺的项目。故本研究以一座12吋半导体厂洁净空调系统与厂务设施进行节能案例研究,节能方案为案例1有机物处理系统采用直燃式与蓄热回收式瓦斯耗能比较、案例2冷卻水塔用高低速运转与变频器能源消耗比较、案例3无尘室低真空系统采用Phone Call控制PUMP起停、案例4无尘室外气空调箱采用Run Around系统热回收,节约能源效益案例1每年瓦斯费用可节省9,881,616元、案例2每年可节省2,398,913元、案例3每年可节省317,004元、案例4每年可节省1,738,758元。 【作者单位】：国立勤益科技大学冷冻空调与能源所 国立勤益科技大学冷冻空调与能源系
【关键词】：节能 高科技 厂务系统 洁净室
【基金】：国科会计划,NSC 97-3114-E-167-001提供所需经费的协助
【分类号】：TN08
【正文快照】： 1前言随著科技巢的癸展，台潜掩有三大科鬃工巢囿匾，典全世界高密度的12时半尊艘魔。高科技座巢是目前台膺经酒主轴之一，台潜高科技崖巢又以政府推勤「雨兆赞星舒畜」之半尊艘晶圆裂造舆光霓座桨高主，业带勤晶圆援段封装测拭舆光雷周遏座品裂造等座巢。高科技座桨能源需求

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