氢气回收技术在钨钼加工中节能显著

【摘要】：正 一、前言氢气是半导体器件、化工、冶金和特种金属热处理等部门生产和科研中不可缺少的保护气和还原气的气源。气体的纯度往往直接影响到产品质量。特别是在电子部门和钨钼深度加工中,尤为显著。众所周知,电子、冶金及钨钼深度加工中对氢气的净化要求,不仅在于深度脱氧,而且要深度脱水,且氢气中不能含有任何机械杂质。因为氧和水在高温下对 【作者单位】：
【关键词】： 回收技术 氢气回收 回收系统 深度脱水 脱氧催化剂 产品质量 提高经济效益 深度加工 钨条 半导体器件
【正文快照】： 一、前 吮兰‘ 口 氢气是半导体器件、化工、冶金和特种金属热处理等部门生产和科研中不可缺少的保护气和还原气的气源。气体的纯度往往直接影响到产品质量。特别是在电子部门和钨铂深度加工中,尤为显著。 众所周知,电子、冶金及钨钥深度加工中对氢气的净化要求,不仅在于深度

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